超声扫描显微镜(SAT),是一种基于超声波脉冲回波原理的无损检测设备,属于显微成像技术领域。该技术自20世纪70年代发展至今,已成为半导体行业质量控制与失效分析的核心手段之一。其独特之处在于能够在不破坏样品电气性能和结构完整性的前提下,对物料内部结构进行可视化检测与分析,在半导体、新能源、航空航天及材料科学等行业有着广泛应用。