超声扫描显微镜(SAT)
超声扫描显微镜(SAT),是一种基于超声波脉冲回波原理的无损检测设备,属于显微成像技术领域。该技术自20世纪70年代发展至今,已成为半导体行业质量控制与失效分析的核心手段之一。其独特之处在于能够在不破坏样品电气性能和结构完整性的前提下,对物料内部结构进行可视化检测与分析,在半导体、新能源、航空航天及材料科学等行业有着广泛应用。
扫描电子显微镜(SEM)
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。
芯片开封是什么?
芯片开盖(Decap),又称芯片开封或者芯片开帽,是指将完整封装的IC做局部腐蚀,使得IC可以暴露出来,同时保持芯片功能的完整无损,为下一步芯片失效分析实验做准备,方便观察或做其他测试。通过芯片开封,我们可以更为直观的观察到芯片内部结构,从而结合OM,X-RAY等设备分析判断样品的异常点位和失效的可能原因。
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